原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种自动耦合稳定光源系统，包括稳定光源主机、光纤、XY丝杆模组、光纤夹持装置、反馈读取装置和控制计算机，所述光纤一端与稳定光源主机连接，另一端由光纤夹持装置进行夹持，所述光纤夹持装置设于XY丝杆模组上，所述光纤的下方正对有晶圆承载盘，所述反馈读取装置通过导线与晶圆承载盘连接，读取晶圆承载盘的反馈电流，所述稳定光源主机、XY丝杆模组和反馈读取装置都与控制计算机电连接。本实用新型在测试期间，如果光纤产生了偏移，可以自动重新耦合到正确位置。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220367198U
(45)授权公告日2024.01.19
(21)申请号202321420090.0
(22)申请日2023.06.06
(73)专利权人柯泰光芯（常州）测试技术有限公
文档评论（0）