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一种氧化钛异质结薄膜及其制备方法.pdfVIP

一种氧化钛异质结薄膜及其制备方法.pdf

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    本发明公开了一种氧化钛异质结薄膜及其制备方法，将锐钛矿TiO2单晶薄膜置于电感耦合等离子体反应装置中，将反应装置抽至真空后，通入反应气体，将反应装置的气压调升；调节等离子体的功率至不低于100W，将锐钛矿TiO2单晶薄膜浸没在等离子体辉光中处理，获得锐钛矿TiO2/缺陷型Ti2O3异质结薄膜，有效改善电子的传输阻抗和发热问题。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117423657A

    (43)申请公布日2024.01.19

    (21)申请号202311347361.9

    (22)申请日2023.10.18

    (71)申请人南京邮电大学

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