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2024-01-20 发布于四川
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一种制造一单体三向加速度传感器的方法，该传感器包括具有三层框架的一主体、单一核心质块、三组弹片与三组光纤光栅(FBG)。反应加速度的三组(每组4片)弹片在三度空间，以相互垂直的方向排列，弹片的厚度远低于其宽度，受惯性矩差异的影响，因此弹片只对单一方向质重块振动有明显的反应。每一FBG感测对应质量在单一方向的往复运动。加速度传感器在各方向的自然频率可以经由共享质块，各框架质量/尺寸与弹片的劲度做所需的调整。单体三向加速度传感器的体积远低于三个单向加速度传感器体积的总和，可精简其安装的复杂性与所需空

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117420323A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202211180337.6

(22)申请日2022.09.26

(30)优先权数据

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