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本实用新型提供了一种高度校准校具及高度校准系统，涉及半导体技术领域，本实用新型提供的高度校准校具包括滑动部以及用于与吸嘴组件连接的外壳；外壳具有进气孔和第一出气口，第一出气口用于与真空发生器连通；滑动部的一端滑动配合于外壳内，另一端伸出外壳，滑动部伸入外壳的一端具有与第一出气口连通的第一进气口，第一进气口用于在滑动部处于自然下垂状态时与进气孔连通或者在滑动部向外壳内缩回时与进气孔隔断并处于封闭状态。本实用新型提供的高度校准校具相比于肉眼观察来说，校准效率和精度更高，同时能够保证校准一致性。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220364028U
(45)授权公告日2024.01.19
(21)申请号202322075225.0
(22)申请日2023.08.02
(73)专利权人杭州长川科技股份有限公司
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