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一种探针吸取方法及装置.pdfVIP

一种探针吸取方法及装置.pdf

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    本发明公开一种探针吸取方法及装置，方法包括：利用位移传感器自上而下检测放置盘各预设测试点处探针的位移数据；根据各测试点处探针的位移数据拟合形成基准曲面，得到放置盘上各探针在基准曲面上的相对高度；在吸取探针时，利用所述相对高度对探针吸取的理论高度进行补偿，并利用补偿后的高度进行探针吸取。本发明解决了探针吸取时因高度变化导致吸取不成功或吸嘴过低损坏产品及吸嘴的问题。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117420338A

    (43)申请公布日2024.01.19

    (21)申请号202311114168.0G01B11/24(2006.01)

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