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本发明的实施例涉及一种制造功率半导体元件的方法，包含在碳化硅基板上形成活性层，其中主动层的形成包含在碳化硅基板上喷射源气体；在停止源气体的喷射后进行喷射清理气体的初始清理；在停止初始清理后喷射反应气体；以及在停止反应气体的喷射后进行喷射清理气体的二次清理。因此，根据本发明的实施例，可在低温下形成主动层。因此，可以防止基板或形成在基板上的薄膜被高温热加热损坏。此外，可以节省加热基板以形成主动层所需的功率或时间，并且可以缩短整体制程时间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117425964A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202280038418.4(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理
(22)申请日2022.06.
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