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2024-01-20 发布于四川
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本发明公开了一种石英管清洗方法和系统，方法包括通过石英管清洗装置内的处理器当接收到清洗指令时，调用钩取机构钩取石英管，将石英管移动至第一浓硫酸槽进行过酸清洗，在完成过酸清洗后，通过钩取机构将石英管移动至第二浓硫酸槽进行第二次过酸清洗，同时回收第一浓硫酸槽内的浓硫酸，待回收完成后向所述第一浓硫酸槽中注入纯水，调用钩取机构将石英管再次移动至第一浓硫酸槽，按照预设的冲水时长对石英管进行纯水冲洗，当纯水冲洗完成后，调用钩取机构将石英管移动至清洗槽，通过清洗槽中的清洗组件进行冲洗并吹干后，将石英管移动至目

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117415082A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202311662734.1

(22)申请日2023.12.05

(71)申请人广东先导微电子科技有限公司

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