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本发明公开了一种基于显微测振的微半球谐振子在线激光修调系统,系统包括在线检测模块、在线加工模块以及显微成像模块,其中在线检测模块由单点式多普勒激光测振仪辅以显微成像模块组成,用于实时检测微半球谐振子的振动频率和观察微半球谐振子的检测位置;在线加工模块由三维扫描振镜辅以显微成像模块组成,用于实时去除微半球谐振子的质量缺陷和观察加工效果。显微测振能够在更小的尺度上检测物体的振动,并且成像系统能够更准确的定位测振位置,因此基于显微测振的微半球谐振子在线激光修调系统能够在微半球谐振子修调过程中更快速精准
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117419746A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311386701.9
(22)申请日2023.10.24
(71)申请人北京理工大学
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