基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置和制备方法.pdfVIP

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2024-01-20 发布于四川
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基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置和制备方法.pdf

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本发明公开了基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置和制备方法，包括在低折射率MgF2衬底上布置双锥微纳光纤，构造U形微纳光纤悬臂梁结构，在U形微纳光纤悬臂梁顶端放置一块平滑平整的单晶金片，形成微天平，在悬臂梁顶端金片上放置不同质量的颗粒进行质量测量，金片位于微纳光纤的顶端中部，微纳光纤的两端分别连接光源和探测器；微纳光纤悬臂梁受到外界压力时，光纤发生弯曲形变，输出光强减小，通过建立光强与压力之间的一一对应关系实现力传感，从而实现质量测量。本发明具有制备简易、灵敏度高的特点，并且质量检测精度、范围

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117419791A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202311746850.1B82Y40/00(2011.01)

(22)申请日2023.12.

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