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第一章微机电系统（MEMS）概论
掌握MEMS的基本概念、尺度范围；
w1-1试给出微机电系统的定义。
微机电系统，是在微电子技术基础上结合精密机械技术发展起来的一个新的科学技术领域。
一般来说，MEMS是指可以采用微电子批量加工工艺制造的，集微型机械元件和微电子于一
体的微型器件、微型系统。
从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通
信系统以及电源于一体的集成微器件、微系统。
典型MEMS器件的长度尺寸约在1um~1mm。
了解MEMS技术的发展过程
掌握MEMS与微电子技术的对比特征；
1.微型化Mini
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