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本实用新型提出一种晶圆研磨液供应系统的下进式可调密封取量装置，设于晶圆研磨液供应系统的晶圆研磨液混成槽前，包含一可调量式下方取料量筒、一纯水源、一收集槽、一原液筒、一抽送泵，以及一组取量装置管路，该可调量式下方取料量筒，其筒体顶壁向内贯穿垂吊一螺杆引动伸降的活塞，将可调量式下方取料量筒内部空间分隔出计量隔间，筒顶开设一通氮气口接管连通氮气，筒体侧壁适当位置开设溢流口，活塞侧壁与筒底侧壁间形成排出通道，而筒底开设流通口连接输送干管，此输送干管被切换接通晶圆研磨液混成槽，且溢流口外套设溢流管，而该组
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220373020U
(45)授权公告日2024.01.23
(21)申请号202321990069.4
(22)申请日2023.07.27
(73)专利权人宸沅国际股份有限公司
地址中
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