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一种新型N柱超结结构横向扩散金属氧化物半导体,主要包括硅衬底、P类Drift浓度掺杂区、高浓度掺杂的P型区、源区、漂移区、栅极、漏区,通过借助其高耐压特性,调整漂移区的PN结的布局,降低导通电阻产生影响,达成穿通超结结构使PN间隔能实现完全耗尽得作用,与此同时,通过调整NDrift柱已经将其包围的高浓度掺杂的P型区的横向长度调节击穿电压,还通过调整NDrift柱的数量或者同时调整NDrift柱和将其包围的高浓度掺杂的P型区的浓度来调整击穿电压和降低导通电阻,使得漂移区的电荷在雪崩击穿前完全
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117438473A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311664273.1
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人浙江大学杭州国际科创中心
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