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本发明提供一种硅基涂层及其制备方法和光伏材料，所述制备方法包括如下步骤：采用硅油作为原料气通入设置有待沉积物的腔室中，所述硅油经热分解并在待沉积物的表面沉积，形成硅基涂层；所述硅基涂层为SiOxCy化合物。本发明所述硅基涂层中x的数值范围为0～2，y的数值范围为0～1，相较于采用其他原料气而言，解决了现有技术中设备所需配套特气站、危险气体泄露侦测报警、专业人员培训配置等成本支出问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117438499A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311380293.6
(22)申请日2023.10.24
(71)申请人拉普拉斯新能源科技股份有限公司
地
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