探针台扎针修正方法、装置、探针台及电子设备.pdfVIP

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2024-01-24 发布于四川
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探针台扎针修正方法、装置、探针台及电子设备.pdf

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本申请涉及一种探针台扎针修正方法、装置、探针台及电子设备。该方法包括：操作电机带动晶圆进行轴向等步距运动，获取对探针台上的晶圆进行扎针所得针痕的第一图像；基于第一图像，判断针痕是否发生线性偏移；若是，则基于第一图像确定针痕的线性偏移量，根据线性偏移量确定线性修正值；根据线性修正值对探针台进行线性修正；操作电机带动晶圆进行轴向等步距运动，获取对线性修正后探针台上的晶圆进行扎针所得针痕的第二图像；基于第二图像，判断针痕是否发生角度偏移；若是，则基于第二图像确定针痕的角度偏移量，根据角度偏移量确定角度

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117434321A

(43)申请公布日2024.01.23

(21)申请号202311243051.2

(22)申请日2023.09.25

(71)申请人杭州长川科技股份有限公司

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