一种HEMT与LED的集成器件及其制备方法.pdfVIP

一种HEMT与LED的集成器件及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种HEMT与LED的集成器件及其制备方法,该集成器件包括衬底以及设置于衬底一侧的双HEMT叠层结构和LED叠层结构;其中,LED叠层结构包括有源层,双HEMT叠层结构包括二维电子气层与二维空穴气层。二维电子气层复用为LED叠层结构的至少部分电子传输层,二维空穴气层复用为LED叠层结构的至少部分空穴传输层。利用二维电子气层为LED叠层结构提供较高浓度的电子,提升有源层中电子的注入效率。利用二维空穴气层为LED叠层结构提供较大浓度的空穴,提升有源层中空穴的注入效率,使LED叠层结构在小

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117438425A

(43)申请公布日2024.01.23

(21)申请号202311691296.1

(22)申请日2023.12.11

(71)申请人江苏第三代半导体研究院有限公司

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