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本发明涉及高精度气体投放系统，设备采用高精度高温光纤传感器，并在程序中加入滤波功能，使计数精准，无漏喷和多喷涂；设备采用双喷头进行奇偶喷涂，有效解决漏喷的可能性，可采用另外一路单喷涂保证顺利生产；有充足的时间处理；设备采用高精度电子质量流量计，对二氟乙烷实事流量控制。并转换为公斤数实时显示在操作界面；设备采用西门子中央控制系统，对各个点进行数字化、智能化、闭环式监控。运行模式可随意在手动、自动之间切换，当设备处于自动状态时，无需操作人员靠经验设置各项参数，上手简单；设备有为高白料开发专业控制程序
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115259692A
(43)申请公布日2022.11.01
(21)申请号202210832600.9C03C17/00(2006.01)
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