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本发明提供了一种开腔机构、一种用于半导体加工的腔室、一种对正方法，以及一种计算机可读存储介质。所述开腔机构包括机构本体、第一螺栓、第二螺栓、第一连接件、第二连接件及旋转结构。所述机构本体包括沿第一方向延伸的第一卡槽以及沿第二方向延伸的第二卡槽。所述第一连接件包括第一卡条以及用于连接腔室本体的第一连接结构。所述第一卡条嵌于所述第一卡槽，并根据所述第一螺栓的旋入量，确定其在所述第一卡槽中的位置。所述第二连接件包括第二卡条以及用于连接腔室上盖的第二连接结构。所述第二卡条嵌于所述第二卡槽，并根据所述第二
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117438343A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311459997.2
(22)申请日2023.11.03
(71)申请人拓荆科技(上海)
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