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提供一种用于检测半导体的系统及其对应的方法，属于半导体检测的技术领域。该系统包括第一臂、第二臂、第一调制模块和物镜；通过第一臂和第二臂的成像光路共聚焦，使第一臂和第二臂中的第一、第二双折射棱镜的剪切方向之间的夹角不等于0°，并且使第一探测器与第二探测器获取的图像之间的对比度数值的差值大于0。通过第一臂和第二臂成像的对比度差值使样品的台阶聚集易于识别和区分。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117434080A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311754311.2
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人深圳市壹倍科技有
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