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本实用新型涉及一种晶圆片扫描监测器，包括扫描检测器本体，所述扫描检测器本体内侧壁底部的左右两端之间固定有固定板，所述扫描检测器本体内设有固定机构，所述扫描检测器本体右侧的顶部固定有安装板，所述安装板上设有调节机构，扫描检测器本体下表面的四周均固定有底座，扫描检测器本体的正面铰接有箱门；固定机构包括固定于扫描检测器本体内底壁中间的双轴电机。该晶圆片扫描监测器通过固定机构能够对不同尺寸的晶圆片进行固定夹持，同时配合调节机构及扫描组件使得能够较为快速便捷对晶圆片各位置进行扫描监测，便于当晶圆片发生严重
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220382077U
(45)授权公告日2024.01.23
(21)申请号202322032101.4
(22)申请日2023.07.31
(73)专利权人上海芯承电子科技有限公司
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