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一种谐振器及其形成方法，谐振器的形成方法包括：第一电极；压电层，位于第一电极上；第二电极，位于压电层上；第一电极和第二电极中的一个或两个为复合叠层，复合叠层包括与压电层相对的第一金属层以及位于第一金属层背向压电层一侧的第二金属层，第一金属层的表面粗糙度小于第二金属层的表面粗糙度，第一金属层的电阻率大于第二金属层的电阻率层。本发明实施例，第一电极和第二电极总的电阻较小；此外，压电层形成在粗糙度较小的第一金属层上，压电层的晶向生长方向一致性较好，综上，在信号通过谐振器的过程中，因为第一电极和第二电极
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN112117985A
(43)申请公布日
2020.12.22
(21)申请号20201
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