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- 2024-01-24 发布于四川
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本发明公开了一种用于二硅化钼棒材表面成膜的感应加热装置,涉及热处理装置领域,包括夹持装置,夹持装置上夹持有二硅化钼棒材,夹持装置一侧设有感应加热系统,感应加热系统可对二硅化钼棒材局部进行加热处理,并可感应测量二硅化钼棒材表面温度,感应加热系统底部设有竖向移动系统,竖向移动系统可带动感应加热系统竖向移动,感应加热系统、竖向移动系统均与控制系统电连接;该种用于棒材表面成膜的感应加热装置,降低了对变压设备的要求,提高了加热效率同时降低了能耗;利用加热线圈的轴向移动实现了对不同部位成膜工艺的灵活控制,消
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117440548A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311412449.4H05B6/36(2006.01)
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