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一种用于激光光束整形的衍射元件.pdfVIP

一种用于激光光束整形的衍射元件.pdf

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    本发明提供了一种用于将高斯激光光束整形成平顶光束的衍射元件。该衍射元件结构由下层基底和上层刻蚀相位结构组成，结构分为匀化结构、整形结构、轮廓加强结构、匀化补偿结构和基底结构组成，结构呈左上到右下的对角线对称的不规则环带特异结构。该衍射元件实现特定波长在对应设计焦距上的匀化整形效果，均方误差和平滑程度均在1%左右。相对于传统光束整形方法，该衍射元件对高斯激光束整形后得到的平顶光束均匀性好，应用广泛。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117452652A

    (43)申请公布日2024.01.26

    (21)申请号202310840659.7

    (22)申请日2023.07.11

    (71)申请人珠海迈时光电科技有限公司

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