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本发明提供了一种半导体集成器件及其制造方法,其中半导体集成器件包括:第一类型器件,第一类型器件的器件密度大于密集度阈值;第二类型器件,第二类型器件的器件密度小于等于密集度阈值;多个功能区,根据功能区中的器件关键尺寸,功能区位于第一类型器件上或第二类型器件上;以及键合层,设置在第一类型器件上和第二类型器件上,且第一类型器件和第二类型器件通过键合层连接。本发明提供了一种半导体集成器件及其制造方法,能够提升集成电路元器件的制造良率和制造效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117457650A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311764176.X
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司
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