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本发明提供了一种直线运动装置位置测量方法、装置、电子设备及存储介质，涉及位置测量技术领域。该直线运动装置位置测量方法,包括步骤：控制运动平台按指定的运动路线做直线运动并依次经过多个预设点；分别利用激光干涉仪和编码器测量运动平台相对起点的移动距离，得到激光干涉仪测量值和编码器测量值;根据激光干涉仪测量值和编码器测量值，计算运动平台到达各个预设点时的第一位置预估值；根据编码器测得的实时编码器测量值和第一位置预估值估算运动平台的实时位置。本发明的直线运动装置位置测量方法仅使用一次激光干涉仪便可以满足直
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117454060A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311776190.1
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人季华实验室
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