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一种芯片检测装置.pdfVIP

一种芯片检测装置.pdf

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    本申请提供一种芯片检测装置，涉及半导体技术领域。本申请提供的芯片检测装置包括芯片检测盒，所述芯片检测盒包括第一底板以及固定在所述第一底板上的检测组件，检测组件包括多个用于容置芯粒的检测槽，多个检测槽在检测组件成阵列排布，检测组件还包括检测电极、总电极及导电走线，检测电极设置在检测槽的底部，检测电极通过导电走线与总电极连接。上述结构通过将芯片放入检测槽中，对芯片进行快速检测，提高了检测效率。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220399590U

    (45)授权公告日2024.01.26

    (21)申请号202321925332.1

    (22)申请日2023.07.20

    (73)专利权人吉林华微电子股份有限公司

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