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一种氮化铝复合衬底的制备方法，属于单晶衬底技术领域。制备方法包括：提供氧化铝衬底；在氧化铝衬底的表面生长铝薄膜，得到生长有铝薄膜的氧化铝衬底；利用阳极氧化法在生长有铝薄膜的氧化铝衬底的表面刻蚀具有预设孔径和周期性的孔状纳米结构，使得生长有铝薄膜的氧化铝衬底转变为具有孔状纳米结构的氧化铝衬底；利用气相沉积的方式在具有孔状纳米结构的氧化铝衬底的表面沉积氮化铝薄膜，得到沉积有氮化铝薄膜的氧化铝衬底；对沉积有氮化铝薄膜的氧化铝衬底进行退火，得到氮化铝薄膜具有预设应变的氮化铝复合衬底。制备方法能有效地调控
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115527836A
(43)申请公布日2022.12.27
(21)申请号202211190002.2C23C14/58(2006.01)
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