一种水平型霍尔器件及制备方法.pdfVIP

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2024-01-27 发布于四川
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一种水平型霍尔器件及制备方法.pdf

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一种水平型霍尔器件及制备方法。一种水平型霍尔器件，包括：衬底层及上面的BOX层，BOX层上设有外延层，外延层上设有阱层，阱层上设有STI层，在STI层设有感应电极对和偏置电极对，在外延层上设有接地电极，在相邻的感应电极与偏置电极之间设有电流阻挡层。一种水平型霍尔器件的制备方法，包括：制备有BOX层和外延层的衬底；对外延层进行深槽刻蚀，深槽底部与BOX层直接接触，填充深槽形成电流阻挡层，光刻并在外延层的上部掺杂形成阱层，对阱层区域进行浅槽刻蚀，形成位于所述型阱层上的浅槽，通过沉积二氧化硅形成STI

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117460396A

(43)申请公布日2024.01.26

(21)申请号202311520494.1

(22)申请日2023.11.15

(71)申请人东南大学

地址210096

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