原创力文档- 9
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- 2024-01-27 发布于四川
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本发明公开一种调控原位掺杂浓度、太阳能电池制备的方法及太阳能电池。该调控原位掺杂浓度的实施方案包括：通过PECVD在基体上沉积硅膜，并对硅膜进行原位掺杂，其中，在原位掺杂过程中，将参与原位掺杂的多种反应物的流量及流量比设定为任意的固定值，并调控PECVD的腔体压力，以通过腔体压力变化调变硅膜内掺杂元素的掺杂浓度，能够在不增加反应气体用量的情况下，调变原位掺杂杂质的掺杂浓度，以有效地降低太阳能电池的掺杂工序的成本及太阳能电池的生产成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117457478A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311436840.8C23C16/24(2006.01)
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