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本发明提供硅基OLED产品的内部异物检测方法、系统、设备及介质，该方法包括步骤：控制线光源对产品表面进行打光；控制相机对焦产品表面进行成像；将被光线打亮的产品表面杂质进行过滤并判定为非检测项；控制条形光源对产品进行带角度的暗场打光成像；控制相机镜头对产品的POL层与Glass层之间的内部异物进行成像，得到实像成像；控制相机对虚像所处位置进行成像，得到虚像成像；将实像成像与虚像成像进行对比，区分内部异物和表面杂质。本发明利用实像和虚像的成像特征信息实现了产品内外部异物和杂质的区分，解决了产品内外部
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117451723A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311567946.1
(22)申请日2023.11.23
(71)申请人高视科技（苏州）股份有限公司
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