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用于检测等离子体处理腔室的功率输送系统中的电弧的方法利用可见电弧检测传感器来帮助定位电弧并关闭与电弧位置相关联的功率源。在一些实施例中，所述方法包括：接收来自在可见光谱中操作的电弧检测传感器的电弧指示，其中所述至少一个电弧检测传感器定位在用于等离子体处理腔室的功率输送系统的组件中；通过所述等离子体处理腔室的电弧检测控制器来确定所述电弧指示的位置；以及当所述至少一个电弧指示超过阈值时，启动安全互锁信号到所述等离子体处理腔室的所述功率输送系统的所述功率源。安全互锁信号控制功率源的功率状态，并且启动安
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117461108A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202280041392.9(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公
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