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本发明提供了一种有机光电突触晶体管阵列的制备方法,包括以下步骤:步骤S1,在洗烘后的基底上制备栅电极;步骤S2,在栅电极上制备绝缘层;步骤S3,在绝缘层上旋涂光刻胶,得到第一光刻胶层,进行光刻得到多个源漏电极图案,通过真空蒸镀将电极材料沉积在绝缘层上,剥离光刻胶,得到多个共面的源漏电极形成源漏电极阵列;步骤S4,在带有源漏电极阵列的绝缘层上旋涂光刻胶,得到第二光刻胶层,进行光刻得到图案模板,基于图案模板旋涂有机聚合物半导体,剥离光刻胶后,得到图案化的有机聚合物半导体作为有源活性层,制备完成后,得
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117460377A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311173821.0
(22)申请日2023.09.12
(71)申请人同济大学
地址200092
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