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本申请公开了一种有效降低加热腔体运行能耗的设备，包括真空发生器以及惰性气体源；惰性气体源通过补气管道与加热腔体连通，用于向加热腔体补充惰性气体；真空发生器连通加热腔，且设有回填管道；回填管道与加热腔体连通，用于将回收的惰性气体回填至加热腔体。通过设置惰性气体源来给加热腔体内部补充惰性气体，利用惰性气体充当传热介质，提高加热速度，进而降低能耗。还通过配置有回填管道的真空发生器来回收部分高温惰性气体，并在下一次加热时，将这部分高温惰性气体回填至加热腔体中，以达到惰性气体余热回收利用的目的，进一步降低
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220393903U
(45)授权公告日2024.01.26
(21)申请号202322029418.2C23C16/455(2006.01)
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