一种高光学均匀性石英玻璃的制备工艺.pdfVIP

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2024-01-27 发布于四川
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一种高光学均匀性石英玻璃的制备工艺.pdf

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本发明公开了一种高光学均匀性石英玻璃的制备工艺，包括两次槽沉工艺，具体包括以下步骤：(1)将表面经酸洗处理后的石英玻璃原料放入第一模具中，放入槽沉炉内，将槽沉炉抽真空，以10～15℃/min升温至1750‑1900℃，充氮气保持炉内微正压，保温1～5h，再以5～10℃/min降至室温取出，完成第一次槽沉处理；(2)对第一次槽沉处理后的料进行酸洗处理，然后置于第二模具中，放入槽沉炉内，抽真空以5～10℃/min升温至1600～1750℃，充氮气保持炉内微正压，保温2～8h，然后进行梯度降温至室温。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115108713A

(43)申请公布日2022.09.27

(21)申请号202210675643.0

(22)申请日2022.06.15

(71)申请人江苏亨芯石英科技有限公司

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