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本发明公开了一种开关矩阵装置以及WAT测试系统，适用于自动化测试领域。该装置将输入面板和开关模块封装为通道单元模块，在一个通道单元模块内实现输出晶圆的测试，无论是测试场景需要多输入接口还是多输出接口，均可以灵活配置多个通道单元模块，以满足不同的测试需求。在一个通道单元模块内可以实现至少一个输入面板和至少一个开关模块的多输入多输出的大多数测试场景，以提高配置灵活性。可以实现一个输入面板和一个开关模块简单的测试场景、多输入接口的测试场景、多输出接口的测试场景和多输入多输出的测试场景，提高适用性。无论
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117452115A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311503615.1G01R27/02(2006.01)
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