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本申请提出一种集成无源器件的体声波单片混合滤波器的制备方法，包括：(1)在支撑衬底上通过沉积制备泄露隔离层；(2)在(1)制备的泄露隔离层上通过物理气相沉积得到电感层，在掩模版上留出TGV电感堆截面环绕沟槽底部窗口，同时对电感金属进行图形化；(3)在(2)制备的电感金属上通过化学气相沉积得到绝缘层，通过光刻得到引线通孔；(4)交替重复步骤(2)和步骤(3)，得到三层堆叠的TGV电感；(5)在(4)制备的TGV电感上方通过化学气相沉积再沉积一层绝缘层；(6)在(5)沉积的绝缘层上通过物理气相沉积沉
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117459021A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311544765.7
(22)申请日2023.11.17
(71)申请人华南理工大学
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