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本发明公开一种三步分段烧结工艺制备IGZO靶材的方法，按以下步骤进行：将IGZO生坯放入烧结炉中，在负压以及空气气氛下，由室温以速率Ⅰ升至第一烧结温度500～700℃，保温2～6h进行脱脂；将炉内的温度再以速率Ⅰ升至700～800℃后开始充入氧气，控制炉内的气压；在氧气气氛下，将炉内的温度以速率Ⅱ升至第二烧结温度1350～1550℃，保温1～4h；将炉内的温度以速率Ⅲ降至第三烧结温度1300～1380℃，保温4～6h，在此段保温时间的中点通入氩气、调整氧气流量来调节炉内氧体积浓度，氧气和氩气流量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117447188A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311339456.6C23C14/34(2006.01)
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