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一种基于非球面透镜的共振腔测量系统.pdf

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本发明属于光学仪器测量技术领域,具体公开了一种基于非球面透镜的共振腔测量系统,包括有调控装置、调位滑台、非球面整光透镜组、光束发射器和测量机构;调位滑台设置两个,且其上分别安装有第一共振腔透镜和波前透镜,第一共振腔透镜和波前透镜之间设置有第二共振腔透镜;调控装置包括有图像传感器以及与图像传感器相连的分析控制单元;光束发射器发射的光束在第一共振腔透镜上生成被图像传感器接收的光斑;具有如下优点:具有非常高的测量精度;非球面整光透镜组和波前透镜的设计优化了光束的聚焦和传播,减少了像差和光学损耗;图像传

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117451325A

(43)申请公布日2024.01.26

(21)申请号202311804771.1

(22)申请日2023.12.26

(71)申请人长春工程学院

地址130012

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