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本发明提供了光学量测系统、光学量测方法及存储介质。所述光学量测系统包括多台相同类型的量测机台，包括标准的第一机台及至少一台非标的第二机台；控制器，连接各所述量测机台，并被配置为：经由所述第一机台及所述第二机台，分别获取同一标准样品的第一光谱信息及第二光谱信息，并据此计算对应的第一膜厚参数及第二膜厚参数；根据所述第一机台的第一膜厚参数，以及所述第二机台的光学系统参数和/或样品模型参数，构建并求解关于所述第二光谱信息的优化方程，以优化所述第二机台的光学系统参数和/或样品模型参数；以及经由所述第一机台
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117450929A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311805579.4
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人睿励科学仪器（上海）有限公司
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