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提供了一种光刻机载物台控制方法，包括：输入新业务；基于新业务的权重值将新业务入队到业务队列中；业务队列将队首的待处理业务出队，并切换当前状态对象以对应待处理业务的状态对象，并调用当前状态对象的任务分配；待处理业务对应的待处理任务入队到处理队列中，处理队列的阻塞位置变为可用，待处理任务从处理队列出队后调用硬件设备执行待处理任务；以及，硬件设备在执行完待处理任务后，将处理结果入队到处理队列中，处理队列的阻塞位置变为可用，并将处理结果返回给待处理业务的当前状态对象处理。这样，基于光刻机载物台的业务需求
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117452774A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311369234.9
(22)申请日2023.10.20
(71)申请人新毅东（上海）科技有限公司
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