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本发明提供了一种半导体工艺设备的自动开腔装置，用于自动开合半导体工艺腔室的顶盖，该自动开腔装置包括：驱动组件、传动轴、导丝轮、多个导向轮以及传动丝，其中，该驱动组件和该传动轴设于腔室外的后侧底部，该导丝轮套设固定在该传动轴上并随着该传动轴的转动而转动；该传送丝的一端固定连接于腔室顶盖的前部，沿着该顶盖延伸至该顶盖与该腔室的铰接处后，经过该多个导向轮的导向后向下延伸并绕至该导丝轮上，当该驱动组件驱动该传动轴转动时，带动该导丝轮滚动以收放该传动丝，使得该传动丝吊起或放下该顶盖的前端以实现该顶盖的自动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117448778A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311370630.3
(22)申请日2023.10.20
(71)申请人拓荆科技(上海)有限公司
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