原创力文档- 3
- 0
- 约1.42万字
- 约 16页
- 2024-01-31 发布于四川
- 举报
本发明是一种晶圆标记方法，其使用激光对氮化物半导体基板的缺陷部分施加激光标记，所述氮化物半导体基板是使至少包含GaN层的氮化物半导体层在单晶硅基板上外延生长而成的，将相当于GaN的带隙能量的波长即365nm的±10％以内的波长的激光照射至所述缺陷部分，从而对所述GaN层的表面及所述单晶硅基板表面同时进行标记。由此，提供一种激光标记方法，该方法在对氮化物半导体基板中的缺陷部分进行激光标记时，能够对GaN层表面及单晶硅基板表面同时进行标记，其中，上述氮化物半导体基板是使至少包含GaN层的氮化物半导体
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117480593A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202280040388.0(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限
您可能关注的文档
- 周期蛋白依赖性激酶抑制剂.pdf
- 光纤拉制炉系统和方法.pdf
- 多色混合和整形光学器件和系统.pdf
- 有机电致发光元件、有机电致发光显示装置及电子设备.pdf
- 用于单个载波波形的相位噪声简档信令.pdf
- 内窥镜导航指示器.pdf
- 具有优化互连的太阳能电池板及其制造方法.pdf
- 用于生成集成数据存储库的计算机体系结构.pdf
- 提高农药微生物的农药有效性的添加剂.pdf
- 多金属本体加氢加工催化剂.pdf
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 阅读综合实践.ppt
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 阅读综合实践四 (2).pptx
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 专题学习活动 少年正是读书时 (4).pptx
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 阅读综合实践四.pptx
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 专题学习活动 少年正是读书时.pptx
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 专题学习活动 少年正是读书时 (3).pptx
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 专题学习活动 (2).pptx
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 专题学习活动 少年正是读书时 (2).pptx
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 专题学习活动 (3).pptx
- 部编版七年级上册语文 第四单元 人生之舟，修身正己 写作 思路要清晰 (5).pptx
文档评论（0）