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本发明公开了一种高均匀性铸锭单晶热场结构,包括炉壳、保温层、加热器、坩埚组件、载物台、底部热门装置、冷却铜板和铜板升降机构,所述炉壳包括上炉壳和下炉壳,且保温层包括上部保温层和下部保温层,同时,加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器,且底部热门装置包括导向盖板、开合叶片、导向销和驱动转盘。该高均匀性铸锭单晶热场结构及使用方法,相对于传统技术,具有以下优点:保温层、坩埚、加热器、散热装置等均为圆形,对称性、均匀性均较方形热场明显提升,有利于生长高品质的铸锭单晶,特殊的圆形热门装置和冷却铜板结
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115354390A
(43)申请公布日2022.11.18
(21)申请号202210792365.7
(22)申请日2022.07.05
(71)申请人苏州步科斯新材料科技有限公司
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