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一种非严格梯形二氧化钛-铌酸锂波导结构及制作方法.pdfVIP

一种非严格梯形二氧化钛-铌酸锂波导结构及制作方法.pdf

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    一种非严格梯形二氧化钛‑铌酸锂波导结构，二氧化钛‑铌酸锂波导内部涵盖四层结构，自上而下分别是：第一层是非严格梯形二氧化钛材料层，第二层为铌酸锂材料层，第三层为二氧化硅，底层为硅衬底。以及提供一种非严格梯形二氧化钛‑铌酸锂波导结构的制作方法。本发明通过有限元分析法，电子束刻蚀以及离子刻蚀和飞秒激光刻蚀几种方法进行结合，通过使用飞秒激光修饰波导顶层两端圆弧，达到精细加工的效果，从而获得高的倍频转换效率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117471816A

    (43)申请公布日2024.01.30

    (21)申请号202311519008.4

    (22)申请日2023.11.15

    (71)申请人浙江工业大学

    地址310014

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