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本申请涉及一种晶棒生长控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备,该方法包括获取长晶炉内实时图像;将实时图像输入至预先训练的生长检测模型得到实时图像中目标区域图像,以及晶棒生长检测结果;若检测结果为异常则基于目标区域图像重新进行试温拉结;生长检测模型包括依次连接的主干网络、颈部网络和检测网络;主干网络对实时图像进行晶结特征提取;颈部网络对晶结特征进行融合;颈部网络包括特征重组上采样模块和通道重组下采样模块,特征重组上采样模块对晶结特征上采样融合,通道重组下采样模块对晶结特征下采样融合;检测网络基于融
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117468084A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311815300.0G06N3/0464(2023.01)
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