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基于MIM吸收器的长波红外光热电探测器及其制备方法.pdfVIP

基于MIM吸收器的长波红外光热电探测器及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种基于MIM吸收器的长波红外光热电探测器及其制备方法，探测器包括：热电转换层；上电极及下电极，分别设置于热电转换层的上下两个表面；MIM吸收器设置于上电极的表面，用于吸收光子并转换为热能，MIM吸收器是依次包括金属反射层、介质层及金属阵列层，所述金属反射层设置于所述上电极的表面。本发明借助MIM吸收器实现光子100％完美吸收，利用金属反射层将吸收的光子局限在热电转换层上表面，从而使热电转换层上下表面产生温度差，减小两个电极间的通道长度，从而减小响应时间；通过金属阵列层中金属模块的尺寸

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117479808A

    (43)申请公布日2024.01.30

    (21)申请号202210841060.0

    (22)申请日2022.07.18

    (71)申请人中国科学院上海微系统与信息技术

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