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研磨液、研磨方法、零件的制造方法及半导体零件的制造方法.pdfVIP

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  • 2024-01-31 发布于四川
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研磨液、研磨方法、零件的制造方法及半导体零件的制造方法.pdf

    一种研磨液，其用于研磨被研磨部件，所述研磨液含有包含铈氧化物的磨粒，所述被研磨部件含有树脂及包含硅化合物的粒子。一种研磨方法，使用该研磨液，对含有树脂及包含硅化合物的粒子的被研磨部件进行研磨。一种零件的制造方法，使用通过该研磨方法研磨的被研磨部件来获得零件。一种半导体零件的制造方法，使用通过所述研磨方法研磨的被研磨部件来获得半导体零件。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117480589A

    (43)申请公布日2024.01.30

    (21)申请号202280042030.1星阳介

    (22)申请日2022.08.29

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