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本发明公开一种了超灵敏应变传感器及其制备方法，所述超灵敏应变传感器包括上电极、介电层和下电极，所述下电极、介电层和上电极依次层叠设置，所述介电层由柔性基底及填充于所述柔性基底中的离子液体组成，所述柔性基底相对于所述离子液体的质量分数为10～75wt％。本发明所述介电层由柔性基底及填充于所述柔性基底中的离子液体组成，所述柔性基底相对于所述离子液体的质量分数为10～75wt％，经过拉伸后，厚度不仅改变了电容，也改变了离子液体的排布方式，进而改变了离子谐振，实现了应变超灵敏感知，因此该种超灵敏应变传感
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117470085A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311131837.5
(22)申请日2023.09.04
(71)申请人西安电子科技大学
地址7100
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