原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
传统的压缩空气纯化装置一般通过设置常放空路以减少死气累积，不仅造成原料气大量的浪费，同时无法满足半导体生产对于高品质压缩空气的需求，本发明公开了一种压缩空气的纯化装置及控制方法，涉及压缩空气纯化领域，包括：并联设置的第一吸附塔和第二吸附塔，通过充压置换去除吸附塔内积存的死气，替代了原有纯化装置通过常放空路去除死气的形式，每个再生周期需要放出的压缩空气仅为再生以及充压置换所需的压缩空气量，传统的置换过程改为充压置换过程，纯化装置中省略了常放空路，减少了常放空路带来的放空浪费，节约了大量压缩空气，进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117463108A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311829726.1
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人大连华邦化学有限公司
地址11
文档评论（0）