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本发明公开了一种面向半导体制造的喷墨型纳米压印胶，由功能齐聚物、功能单体、光引发剂和稀释剂组成；所述喷墨型纳米压印胶的粘度范围为5~50cP；所述喷墨型纳米压印胶的表面能为25~45mN/m；所述喷墨型纳米压印胶的洁净度为220nm以下杂质的含量小于1ppm；所述述喷墨型纳米压印胶的固化时间小于等于1min。通过加入稀释剂来调节纳米压印胶的粘度，使得粘度范围在5~50cP内；通过功能齐聚物和功能单体配合改变表面能，表面能低则多引入功能单体，功能单体与功能齐聚物具有优异的相容性，而且功能单体中
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117471852A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311448204.7
(22)申请日2023.11.02
(71)申请人璞璘材料科技（绍兴）有限公司
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