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本发明提供一种微增益叠程放大装置及相位补偿、模式匹配方法，微增益叠程放大装置包括种子源、泵浦模块、增益介质、腔镜；种子光在增益介质中经过第一次和第二次的多程反射放大输出，可以实现微增益介质放大；通过在校正腔镜上每个激光的入射区域镀有高反膜，镀有高反膜的区域小于对应激光到达区域，以实现激光与放大器的模式匹配，以抑制像差、像散及自发辐射，提高光束质量。通过将校正腔镜多个区域设置不同面型曲率，来补偿相位畸变，取得最优化的光束质量校正效果，提高光束质量。本发明采用相位补偿及模式匹配的方式，多次对激光光束
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117477331A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202310314021.X
(22)申请日2023.03.28
(71)申请人齐鲁中科光物理与工程技术研究院
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